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origa無(wú)桿氣缸在微電子行業(yè)的運(yùn)用

origa無(wú)桿氣缸——微電子技術(shù)是隨著集成電路發(fā)展起來(lái)的一門新的技術(shù)。微電子技術(shù)包括系統(tǒng)電路設(shè)計(jì)、器件物理、工藝技術(shù)、材料制備、自動(dòng)測(cè)試以及封裝、組裝等一系列專門的技術(shù),微電子技術(shù)是微電子學(xué)中的各項(xiàng)工藝技術(shù)的總和。那么,在微電子行業(yè)制造生產(chǎn)中,無(wú)桿氣缸有著怎樣的應(yīng)用呢?
 
如下圖所示,在微電子行業(yè)的一個(gè)輸送系統(tǒng)的輸送線上         
  
 
將一個(gè)地位置的產(chǎn)品拾放到高位置,使用ORIGA無(wú)塵室專用無(wú)桿氣缸可以提高工作效率。其潔凈等級(jí)CLASS10,速度可以很慢 ,可低至25mm/sec 。
 
如果需要精確定位,還可以選用測(cè)量系統(tǒng)SFI,和PLC鏈接,精度可達(dá)+/-1mm。

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